超音波モータ駆動位置決めステージ USシリーズ
最終更新日:2014/01/31
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繰返し精度10ナノを実現
【USシリーズ】は、真空非磁性に対応した超音波モータ駆動位置決めステージ。ハイパワーユニットUR-02と組み合わせ、一方向の使用や大きな保持力でZ方向でも使用可能。繰返し位置決め精度10ナノを実現、優れた耐コンタミ性を備えている。用途は光ディスク製造装置、半導体製造・検査装置、顕微鏡関連装置など多彩。
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