ピエゾステージ MH-20XYD
最終更新日:2019/09/25
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XY軸・高速対応・高剛性
【MH-20XYD】は、高速対応性を重視したピエゾステージ。変位センサ内蔵タイプは、クローズドピエゾコントローラと組み合わせることで極めて高精度な位置決めが可能。
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