ピエゾアクチュエータ MPA-UBシリーズ
最終更新日:2019/09/24
このページを印刷高精度な位置決めが可能
【MPA-UBシリーズ】は、積層ピエゾアクチューエーターに予備圧縮力を与えた基本ユニット。変位センサ内蔵タイプは、クローズドピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能。先端に取り付ける球面エンドピース(M-9910シリーズ)や温度センサもオプションで用意。形状変更、真空対応などカスタマイズにも対応。
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