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小型6自由度位置決めステージ

(株)菊池製作所

最終更新日:2016/05/18

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  • 小型6自由度位置決めステージ
自由な傾斜角度、30度の高傾斜を実現
【小型6自由度位置決めステージ】は、独自機構のリンクジョイントにより広可動範囲のまま小型化した製品。従来の単軸の積み重ねによるステージでは難しかった自由な傾斜角度に加え、直動型パラレルリンクよりも高傾斜の30度を実現、繰り返し位置決め精度は直線方向：±0.01mm、回転方向：±0.01°。耐環境性が高く、制御が簡単。
    　　　　　　　　

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