干渉計用ピエゾステージ MV-20ZD4／20ZD6
最終更新日:2019/09/24
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ミリ秒高速対応、高精度位置分解能
【MV-20ZD4／20ZD6】は、ピエゾアクチュエータを内蔵の大型窓Z軸ピエゾステージ。窓口径は4インチ相当と6インチ相当で、変位センサ内蔵タイプはクローズドピエゾコントローラと組み合わせることで、高精度な位置決めが可能。
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