ロングストローク ピエゾステージ MI-100
最終更新日:2019/09/25
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ナノメートルの高分解能動作、3軸ロングストローク、ローコスト
【MI-100】は、小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵し、ストローク100μmを出力するピエゾステージ。一体弾性ヒンジ機構により、摩擦のない動作を実現しており、メンテナンスは不要。XY軸／XYZ軸タイプを用意。変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組み合わせることで高精度な位置決めが可能。
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