ピエゾステージ MFシリーズ
最終更新日:2019/09/25
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重いワークの高速動作と高精度クローズド位置決めが可能
【MFシリーズ】は、X軸・高速対応の高剛性ピエゾステージ。ストローク：20～120μmを用意。一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現しておりメンテナンスは不要。大きな質量を搭載し、高速動作が可能。
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