反射透過率測定システム F10-RT
最終更新日:2017/03/22
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反射光と透過光を同一点で同時測定
【F10-RT】は、反射率・透過率・吸収率の波長依存性を測定する、薄膜アプリケーションのための反射率透過率同時測定システム。反射光と透過光を同一点で同時に測定できる。ハードウェアの再設定やサンプルの置換えは不要。サンプルをフェイスダウンして測定するため、基板の厚みに影響されない精度よい測定が可能。測定波長は可視光、UV、近赤外と広範囲にわたる。オプションの追加で膜圧や光学定数も測定でき、薄い金属膜の測定や、吸収の波長依存性の大きな膜の測定にも対応。
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