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自動高速分光エリプソメータ UNECS-3000A

(株)アルバック

最終更新日:2014/02/01

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  • 自動高速分光エリプソメータ UNECS-3000A
薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価
【UNECS-3000A】は、スナップショット計測による高速測定と自動マッピング機能により、薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価できる高速分光エリプソメータ。簡単なレシピ設定で高速かつ高精度な分布評価を行うことができるため、研究開発から生産ラインまで幅広い用途で使用することが可能。
    　　　　　　　　

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社名：
(株)アルバック
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〒 253-8543
茅ヶ崎市萩園2500
Web：
http://www.ulvac.co.jp/