ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A

【WP-Z-120A】は、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージ。300㎜ウェーハ観察を想定し、耐荷重は8㎏。クイーンズゲイトコントローラの緻密な制御アルゴリズムと静電容量センサを搭載し、ナノレベルの誤差検知、コントローラへのフィードバック、超高精度を実現。独自のフレクシャーガイド機構により、120ミクロンの動作範囲全体にわたって、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立。真空(HV)／電子顕微鏡真空／超高真空(UHV)対応や、高耐荷重：14㎏などのカスタマイズに対応。