ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A
最終更新日:2022/12/14
このページを印刷耐荷重:8㎏で、重量のあるウェーハチャックにも対応
【WP-Z-120A】は、ミリ秒の駆動速度を持ち、高速での観察・処理が必要な用途に最適なZステージ。300㎜ウェーハ観察を想定し、耐荷重は8㎏。クイーンズゲイトコントローラの緻密な制御アルゴリズムと静電容量センサを搭載し、ナノレベルの誤差検知、コントローラへのフィードバック、超高精度を実現。独自のフレクシャーガイド機構により、120ミクロンの動作範囲全体にわたって、スムーズで安定した動作と超高速での駆動・収束を両立。真空(HV)/電子顕微鏡真空/超高真空(UHV)対応や、高耐荷重:14㎏などのカスタマイズに対応。
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製品カタログ・資料
- ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120A
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