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粗微動連動ステージ LS101-A／B

THKプレシジョン(株)

最終更新日:2015/05/01

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  • 粗微動連動ステージ LS101-A／B
高精度位置決めが可能
【LS101-A／B】は、ステッピングモータによる粗動と圧電アクチュエータによる微動を連動させ、30mmストロークを1ナノメートルの分解能で精密位置決めが可能な粗微動連動ステージ。製造装置・検査装置への搭載に対応した高剛性設計を実現。顕微鏡鏡筒のフォーカス調整、製造・検査装置の試料台、半導体ウェハの位置決めに最適。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
THKプレシジョン(株)
住所：
〒 144-0033
大田区東糀谷4-9-16　THKテクノセンター2F
Web：
https://www.thkprecision.co.jp