超音波モータステージ
最終更新日:2015/03/06
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高速駆動・超高分解能を両立
【超音波モータステージ】は、駆動源に高トルク・低発熱の非共振型超音波モータを採用することで高速駆動・超高分解能を両立、真空および非磁性への対応が可能。ダイレクトドライブのためシンプルなステージ構造で、0.1mm／secでの速度ムラ1％以下と高い速度安定性を実現。低速（10nm／sec）から高速（100mm／sec）での駆動が可能。
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