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リニアモータステージ IMS-LM

伯東(株)

最終更新日:2015/05/25

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  • リニアモータステージ IMS-LM
センタドライブ式リニアモータを採用
【IMS-LM】は、コストパフォーマンスに優れ、高スループットが要求される精密機械分野で威力を発揮するリニアモータステージ。ドライブ素子にセンタドライブ式リニアモータを採用、ノイズの発生がない。スクリュードライブ式に比べ100mm以上の小型化を実現、移動量は300〜600mm。用途は半導体ウエハ検査、レーザ加工など。
    　　　　　　　　

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