τリニアステージブロック

本製品は、スケールレスリニアセンサを採用し、耐環境性と大幅なコストダウンを実現したリニアステージ。繰返し位置決め精度±10μm、ロストモーション10μm。高精度要求に光学式、磁気式リニアエンコーダの選択が可能、また有効ストローク100mm〜1140mmで選択できる。ステージブロックと薄型ダイレクトドライブモータτDISCの組み合わせにより、様々なストロークのX／XY／Xθ／XYθステージが容易に構築可能。SSCNET?、MECHATROLINK-?で使用でき、多彩なネットワークシステムに対応している。CC-Link、DeviceNetも選択可能。ウエハ搬送の用途に最適。