真空ステージ 真空(非磁性)ステージ
最終更新日:2015/03/06
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特殊環境下でステージ精度の信頼性・安定性を向上
【真空（非磁性）ステージ】は、セラミックス・アルミニウムをステージに使用することにより、低真空から高真空領域内での使用が可能。また、リニアスケール・超音波モータでのクローズドループ制御により、5nmの高分解能を実現。電子・レーザー顕微鏡、半導体製造装置関連、次世代半導体デバイスなどの研究開発、ナノテクノロジー分野などに最適。
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