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新着製品情報
- ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120Aプライアー・サイエンティフィック株式会社
- ヘキサポッドステージ H-811／H-820／H-825／H-840／…ピーアイ・ジャパン(株)
- ロボット走行軸(7軸目)用リニアアクチュエータイグス(株)
- XY位置補正ステージ カムポジショニングステージ(CPS)(株)マシンエンジニアリング
- 簡易型XY手動ステージ MXY-1(株)スターマイクロ
(1)セミカスタムメイドステージ
標準ステージをベースに以下の項目をカスタムメイドする。
・ストローク、リニアモータ、リニアスケール、標準対応外θ軸、リニアガイド、原点位置、テーブル／ベース取付穴、表面処理、材料、トップテーブルサイズ、ケーブルベアなどの変更。
・機械精度／動的精度の更なるアップ。
(2)カスタムメイドステージ
マルチヘッドステージ、ロングストロークステージ、架台付きステージ、エアー軸ステージなど特殊仕様ステージに対応。
SSCNET?、MECHATROLINK-?で使用でき、多彩なネットワークシステムに対応している。CC-Link、DeviceNetも選択可能。
用途は、ICハンドラ、拡散炉、ウエハ搬送、ピック＆プレース、高精度計測装置、ワイヤボンダ、電子線描画装置、レーザ加工機、半導体製造装置など。