リニアステージ τ(タウ)リニアステージ Xθステージ
最終更新日:2014/02/01
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位置決め精度保証・速度安定性保証などが可能な高性能リニアステージ
本製品は、格上げの高精度・高性能ステージを実現。位置決め精度保証1μm。速度安定性能を保証。高タクト動作の確認が可能。SSCNET?、MECHATROLINK-?で使用でき、多彩なネットワークシステムに対応している。CC-Link、DeviceNetも選択可能。用途は、ICハンドラ、拡散炉、ウエハ搬送、ピック＆プレース、高精度計測装置、ワイヤボンダ、電子線描画装置、レーザ加工機、半導体製造装置など。
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