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https://www.thkprecision.co.jp

微動ステージ／コントローラ NS／NCシリーズ

THKプレシジョン(株)

最終更新日:2015/05/08

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  • 微動ステージ／コントローラ NS／NCシリーズ
精密位置決めシステムの構築が可能
【NS/NCシリーズ】は、微動ステージユニットを構成するナノサーボステージとナノサーボコントローラ。NSシリーズは圧電素子駆動による小型微動ステージ。変位センサを内蔵し、ナノサーボコントローラと接続してフィードバック制御が可能。NCシリーズはピエゾドライバを内蔵、微動ステージの高精度な位置決め制御が可能。
    　　　　　　　　

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