微動ステージ／コントローラ NS／NCシリーズ
最終更新日:2015/05/08
このページを印刷
精密位置決めシステムの構築が可能
【NS/NCシリーズ】は、微動ステージユニットを構成するナノサーボステージとナノサーボコントローラ。NSシリーズは圧電素子駆動による小型微動ステージ。変位センサを内蔵し、ナノサーボコントローラと接続してフィードバック制御が可能。NCシリーズはピエゾドライバを内蔵、微動ステージの高精度な位置決め制御が可能。
一緒に閲覧されている製品
微動ステージ／コントローラ NS／NCシリーズのお問い合わせ
