メカニカルステージシステム ALS-903-S1P/105-S1P/510-S1P
最終更新日:2015/05/26
このページを印刷真直度1μm未満の高精度を実現
【ALS-903-S1P/105-S1P/510-S1P】は、真直度1μm未満の高精度を実現したハイスペックステージ。モーメント剛性は従来品の1/5以下。移動量30/50/100mmをラインナップ。最高分解能5nmのスケール取付けが可能。オプションで減速機付きモータへの変更が可能。使用モータは5相ステッピングモータ。送りねじはボールねじ。