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メカニカルステージシステム ALS-903-S1P／105-S1P／510-S1P

中央精機(株)

最終更新日:2015/05/26

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  • メカニカルステージシステム ALS-903-S1P／105-S1P／510-S1P
真直度1μm未満の高精度を実現
【ALS-903-S1P／105-S1P／510-S1P】は、真直度1μm未満の高精度を実現したハイスペックステージ。モーメント剛性は従来品の1／5以下。移動量30／50／100mmをラインナップ。最高分解能5nmのスケール取付けが可能。オプションで減速機付きモータへの変更が可能。使用モータは5相ステッピングモータ。送りねじはボールねじ。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
中央精機(株)
住所：
〒 101-0063
千代田区神田淡路町1-5　及川ビル2Ｆ
Web：
http://www.chuo.co.jp/