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透過型XYファインステージ

シグマ光機(株)

最終更新日:2024/07/01

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  • 透過型XYファインステージ
顕微鏡下での試料の微動に好適
【SFS-120XY（WA）】は、アクチュエータにピエゾ素子、位置フィードバックにデジタルセンサを搭載した透過型XYファインステージ。50×50mmの開口部を持つ超高精密位置決め透過型XYステージで、顕微鏡下での試料の微動に適している。テーブルサイズは120×120mmで、各種顕微鏡への組込みをはじめ半導体検査装置など多用途。
    　　　　　　　　

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