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真空非磁性X−Yステージシステム

キヤノンプレシジョン(株)

最終更新日:2015/05/13

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  • 真空非磁性X−Yステージシステム
電子顕微鏡標準試料室のサイズに対応
【真空非磁性X−Yステージシステム】は、電子顕微鏡標準試料室のサイズφ200、φ300に対応したシステム。超音波モータ駆動X−Yステージシステムで、位置決め分解能0.1μm、移動量40×40mm（φ200）、80×50mm（φ300）。静止時は非通電で振動、発熱、発塵やビームへの干渉もない。高精度つなぎ／重ね描画を実現。
    　　　　　　　　

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