超精密X-Yステージ ナノステージ TX2-Y-10
最終更新日:2015/05/12
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超音波モータ搭載で低速領域で移動可能
【ナノステージ TX2-Y-10】は、セラミック製エアスライド使用で、100mmのフルストロークの真直性を0.1μm以下に抑えた超精密X-Yステージ。1nm以下の駆動分解能を持つ超音波モータを搭載、低速領域（100nm／s）での移動が可能。特徴4インチのステージで、描画装置や高精度なインクジェット装置のステージに運用できる。
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