高精度位置決めステージシステム US60/120シリーズ
最終更新日:2015/05/18
このページを印刷真空、非磁性に対応可能
【US60/120シリーズ】は、大きな保持力を持ち、Z方向で使用できる超音波モータ搭載の高精度位置決めステージシステム。高パワーユニットUR-02を組み合わせθ方向にも使用可能。優れた耐コンタミ性も発揮。光ディスク製造装置、半導体製造装置、レーザー描画装置、マイクロマシンなど用途は広範。保存温度範囲は−20〜+60℃。
最終更新日:2015/05/18
このページを印刷