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高精度位置決めステージシステム US60／120シリーズ

キヤノンプレシジョン(株)

最終更新日:2015/05/18

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  • 高精度位置決めステージシステム US60／120シリーズ
真空、非磁性に対応可能
【US60／120シリーズ】は、大きな保持力を持ち、Z方向で使用できる超音波モータ搭載の高精度位置決めステージシステム。高パワーユニットUR-02を組み合わせθ方向にも使用可能。優れた耐コンタミ性も発揮。光ディスク製造装置、半導体製造装置、レーザー描画装置、マイクロマシンなど用途は広範。保存温度範囲は−20〜＋60℃。
    　　　　　　　　

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