DOVER MOTION社製リニアポジショニングステージ SmartStage Linear Positioning Stage

【SmartStage Single Axis Stage】は、さまざまな移動サイズとオプションを用意し、精密な動作のニーズに対応する単軸ステージ。【SmartStage Linear Positioning Stage】は、単軸用「SmartStage Linear」または 2 軸用「SmartStage XY」として提供され、精密な動作のニーズを満たすさまざまな移動サイズとオプションを用意した位置決めステージ。すべてのコントロールは内部に配置されており、外部ケーブルは1本。5nmの解像度、0.8um双方向繰り返し精度を実現。プロトタイプ作成が容易。生産コスト効率に優れている。