ピエゾステージ MPS-C1X
最終更新日:2019/09/25
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高速応答・高精度位置分解能
【MPS-C1X】は、高速応答・高精度位置分解性能を持つピエゾステージ。ピエゾアクチュエータを駆動源とし、ストローク：2000μmを発生する。一体弾性ヒンジにより高速かつ高精度な位置決めが可能。干渉計ミラーの精密位置制御や顕微鏡ワークの位置決め、半導体向け各種装置などへ利用できる。
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