顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ
最終更新日:2019/02/15
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電極パターンマスクの作製は不要
【UTAシリーズ】は、LED光源DLPプロジェクタと金属顕微鏡を組み合わせた、縮小投影型のマスクレス露光装置。解像度数ミクロンの任意のパターンをレジスト塗布した基板上に投影し、露光を行う。専用に開発したソフトウェア上で自由なパターン作成が可能。さまざまな大きさ、形状の層状物質単結晶薄片上に大気中で電極を形成できるため、電子線リソグラフィーよりも扱いやすく、リーズナブルな価格を実現。
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