高速・薄型回転ステージ U-651

【U-651】は、「PILine」超音波ピエゾモーターの採用により、小型化と高さ14mmの薄型化を実現した直接駆動方式精密回転ステージ。内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μradの分解能で、精密な位置コントロールが可能。また、内蔵のU-164 PILineリニアモーターのトルクは最大0.3Nm(動作方向から独立)で、最高速度は720°／秒を達成。最大荷重は2kg。開口部の直径は36mm。研究および製造業、マイクロマニピュレーション、オートメーション、光計測学などでの利用に適している。