ピエゾナノステッピングリニアステージ N-565
最終更新日:2015/10/15
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リニアスケール内蔵
【N-565】は、精度と耐荷重を高めるためにシンクロナイズピエゾステッピングモータを使用した薄型リニアステージ。大きなプラットフォームとクロスローラーベアリングによりサブナノメートルレンジにおいて、滑らかで高精度な動作を実現。「E-861ピエゾコントローラ」で制御され、リニアエンコーダーによりナノメートルの再現性を提供。真空対応バージョンも利用可能。高精度位置決め、真空非磁性アプリケーションなどに最適。
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