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高精度ピエゾステージ P-752シリーズのお問い合わせ
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新着製品情報
- ウェーハ観察用 ピエゾZ軸ステージ WP-Z-120Aプライアー・サイエンティフィック株式会社
- ヘキサポッドステージ H-811／H-820／H-825／H-840／…ピーアイ・ジャパン(株)
- ロボット走行軸(7軸目)用リニアアクチュエータイグス(株)
- XY位置補正ステージ カムポジショニングステージ(CPS)(株)マシンエンジニアリング
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企業基本情報
- 社名：
- ピーアイ・ジャパン(株)
- 住所：
- 〒 212-0013
川崎市幸区堀川町580番地 ソリッドスクエアビル西館 17F
- TEL：
- 044-280-7676
速振動、およびディスクドライブ検査のアプリケーション用に特化。独自の静電容量センサを備えたことで、サブナノメートルの分解能と安定性を実現。独自のDDLアルゴリズムにより、スキャニングアプリケーションにおいて最高の動的精度が得られる。また、プリロード付きの「PICMA」高性能ピエゾアクチュエータを備えており、高い信頼性と長寿命を実現。CDバージョンはIDチップを装備しており、個々のステージデータやサーボ制御パラメータが保存されているため、自動設定が可能。