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高精度ピエゾステージ P-752シリーズ

ピーアイ・ジャパン(株)

最終更新日:2015/10/15

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  • 高精度ピエゾステージ P-752シリーズ
直動式デザインによる高速応答を実現
【P-752シリーズ】は、PICMAピエゾアクチュエータによる長寿命を実現した高精度ステージ。高
速振動、およびディスクドライブ検査のアプリケーション用に特化。独自の静電容量センサを備えたことで、サブナノメートルの分解能と安定性を実現。独自のDDLアルゴリズムにより、スキャニングアプリケーションにおいて最高の動的精度が得られる。また、プリロード付きの「PICMA」高性能ピエゾアクチュエータを備えており、高い信頼性と長寿命を実現。CDバージョンはIDチップを装備しており、個々のステージデータやサーボ制御パラメータが保存されているため、自動設定が可能。

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企業基本情報

社名:
ピーアイ・ジャパン(株)
住所:
〒 212-0013
川崎市幸区堀川町580番地 ソリッドスクエアビル西館 17F
Web:
http://www.pi-japan.jp/
TEL:
044-280-7676