ヘキサポッドステージ H-811/H-820/H-825/H-840/H-845/H-855
最終更新日:2021/09/15
このページを印刷高精度でカスタマイズにも対応
本製品は、圧電ドライブまたは電気機械ドライブをベースとし、油圧式ヘキサポッドより精度に優れたヘキサポッドステージ。設置後すぐに付属のソフトウェア「PIMikroMove」によって動作が可能。高精度のリードネジドライブ、もしくは磁気またはピエゾベースのリニアモータを使用。直線軸:3本、回転軸:3本。「H-811」「H-820」「H-825」「H-840」「H-845」「H-850」「H-855」をラインアップし、カスタマイズにも対応。