高速チップ／チルト ミラーピエゾステージ S-331型
最終更新日:2021/09/17
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フレクシャガイドを内蔵
【S-331型】は、フレクシャガイドを内蔵したステージ。摩擦、摩耗がなく潤滑不要。剛性により高負荷容量を可能にする。真空、高温環境でも動作可能。平行運動学的多軸システムのためすべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作。全軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、高精密駆動が可能。
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