ピエゾナノポジショニングステージ WP120B

【WP120B】は、姿勢角誤差(ロール・ピッチ誤差)を極限まで抑え、安定したフォーカスと高い測定精度を提供するティルトステージ。300㎜ウェーハ用ピエゾステージの姿勢角誤差の改善を求めるユーザーの要望に応える。機械的特長として、3つのピエゾアクチュエータを並列に配置した内部構造と独自のフレクシャーガイド機構、ステージの動きを随時測定している静電容量センサの搭載、クローズドループ制御でステージの高速、かつ正確な動きを実現する設計をしている。これにより120ミクロンの全動作範囲に渡って、ステージの動作速度を損なうことなく、姿勢角誤差を20マイクロラジアンから2マイクロラジアンまで低減することに成功。このように姿勢角を安定させることで、広い観察範囲でも安定したフォーカスを保つことができ、測定精度の信頼性が向上するため、300mmウェーハの検査に好適。また、Prior Scientific社のH112電動XYステージ(動作範囲300×300㎜の高耐荷重ステージ)用取り付けアダプタも用意しており、300mmのXY動作範囲を持つシステム構築も可能。Z軸の速度と精度両立が必要となる高生産性が要求される用途に好適。