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チルト機構付きステージ MTL-F1

(株)メステック

最終更新日:2019/09/25

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  • チルト機構付きステージ MTL-F1
高速応答、高精度位置分解能
【MTL-F1】は、光学ミラー制御など、高分解能のチルト機構を必要とする用途向けステージ。小型の筐体は、積層ピエゾを駆動源として2軸チルトアングル35mradを発生。高い周波数特性により高速なステップ変位と静定性を提供。ひずみゲージ変位センサによる変位直線性の補正および一体弾性ヒンジによる精密動作が可能。ミラーなし／ミラー付きを選択できる。RoHS 6物質非含有。
    　　　　　　　　

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