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パワーデバイス用オートプローバ PW-8000
最終更新日:2019/01/12
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オンウェハ耐電圧：3,000V、最大許容電流：1,200A(パルス)に対応
【PW-8000】は、最大8インチウェハ対応のパワーデバイス向けフルオートプローバ。独自のチャック構造とコンタクタにより、低インダクタンス化、低抵抗化を実現。耐電圧設計で、最大3,000Vまでの高電圧測定に対応。同社製プローブブロックの使用により、許容電流：1,200A(パルス)の大電流測定が行え、パワーデバイスの低Ron測定などの大電流特性を、ウェハ状態で試験できる。チャック／プローブブロックピン交換が容易で、高いメンテナンス性を維持。極薄ウェハ搬送システムや専用温度コントローラーなど、さまざまなオプションの搭載が可能。
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