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8インチハイパワー用オートプローバー TS2000-HP

MPI Corporation

最終更新日:2019/02/05

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高電圧、大電流(10kV／600A)アプリケーション用途に開発

【TS2000-HP】は、高電圧、大電流アプリケーション用途向けに開発されたオートプローバー。10kV／600Aまでのオンウェハーでのハイパワーデバイス測定が可能。接触抵抗の低い金メッキチャックを採用。最薄50μmまでの薄形ウェハーを吸着できるよう真空穴を改良している。-60～＋300℃の広温度範囲に対応。オプションでTaikoウェハーを搭載可能。

試験・検査装置│半導体検査装置│

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製品カタログ・資料

: TS2000-HP オート・プローバー製品概要
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.88MBTS2000-HP 各種機能をご紹介

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社名：: MPI Corporation

住所：: 〒 -
No. 155, Chung-Ho St. , Chu-pei City, Hsinchu County 302, Taiwan, R.O.C.

Web：: http://www.mpi-corporation.jp/ja/ast/

TEL：: +88635551771