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Web：
http://www.mpi-corporation.jp/ja/ast/
TEL：
+88635551771

8インチ ハイパワー用オートプローバー TS2000-HP

MPI Corporation

最終更新日:2019/02/05

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  • 8インチ ハイパワー用オートプローバー TS2000-HP
高電圧、大電流(10kV／600A)アプリケーション用途に開発
【TS2000-HP】は、高電圧、大電流アプリケーション用途向けに開発されたオートプローバー。10kV／600Aまでのオンウェハーでのハイパワーデバイス測定が可能。接触抵抗の低い金メッキチャックを採用。最薄50μmまでの薄形ウェハーを吸着できるよう真空穴を改良している。-60～＋300℃の広温度範囲に対応。オプションでTaikoウェハーを搭載可能。
    　　　　　　　　
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