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8インチ ハイパワー用オートプローバー TS2000-HP

MPI Corporation

最終更新日:2019/02/05

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  • 8インチ ハイパワー用オートプローバー TS2000-HP
高電圧、大電流(10kV/600A)アプリケーション用途に開発
【TS2000-HP】は、高電圧、大電流アプリケーション用途向けに開発されたオートプローバー。10kV/600Aまでのオンウェハーでのハイパワーデバイス測定が可能。接触抵抗の低い金メッキチャックを採用。最薄50μmまでの薄形ウェハーを吸着できるよう真空穴を改良している。-60~+300℃の広温度範囲に対応。オプションでTaikoウェハーを搭載可能。

製品カタログ・資料

TS2000-HP オート・プローバー 製品概要
TS2000-HP オート・プローバー 製品概要

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企業基本情報

社名:
MPI Corporation
住所:
〒 -
No. 155, Chung-Ho St. , Chu-pei City, Hsinchu County 302, Taiwan, R.O.C.
Web:
http://www.mpi-corporation.jp/ja/ast/
TEL:
+88635551771