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結晶欠陥検出装置 フォトルミネッセンスイメージング装置

西華デジタルイメージ株式会社

最終更新日:2019/07/25

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  • 結晶欠陥検出装置 フォトルミネッセンスイメージング装置
ウエハの全面測定での欠陥検出に
【フォトルミネッセンスイメージング装置】は、フォトルミネッセンス法を応用し、高い解像度でフォトルミネッセンス画像(PL画像)を取得するだけではなく、分光情報も得られる装置。半導体ウエハの結晶欠陥の位置を確認することが可能。エントリーモデルから、ウエハの全面測定やカラーフォトルミネッセンス画像、量産工程用のモデルなど各種モデルをラインアップ。
    　　　　　　　　

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社名：
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Web：
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TEL：
0338302300