微小電流測定用セミオートプローバ AP-80

最終更新日:2019/02/15

fAレベルの微小電流測定が可能

【AP-80】は、8インチ微小電流測定用のセミオートプローバ。ガード電位技術を活用した構造により、低リーク・低ノイズでfAレベルの微小電流測定が可能。ウェーハマップ編集登録機能、外部制御コマンドの標準装備(主要な測定器メーカーの外部制御ソフトウェアに標準対応)により、チップ単位のマニュアル測定からウェーハ全面の自動測定まで可能。システム構築時間、測定準備時間、測定時間の短縮に寄与。多彩なオプション(高温、高低温、高電圧)のほか、使用目的に応じたカスタマイズにも対応。