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顕微式自動膜厚測定システム F54

フィルメトリクス(株)

最終更新日:2018/08/15

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  • 顕微式自動膜厚測定システム F54
オートステージ・オートフォーカスに対応した半導体向け
【F54】は、微小領域での高精度な膜厚・光学定数解析機能と自動高速ステージを組み合わせたシステム。2インチ～450mmまでのシリコン基板に対応。指定したポイントの膜厚、屈折率を、高速で測定。5～50倍の対物レンズに対応し、測定スポット径は1～100μmから用途に応じて選択できる。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
フィルメトリクス(株)
住所：
〒 222-0033
横浜市港北区新横浜2-5-9　新横浜フジカビル8F
Web：
https://www.filmetrics.co.jp