非接触(渦電流法)ウェハソーティングシステム NC-6800
最終更新日:2019/03/12
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温度計と温度補正機能付き
【NC-6800】は、抵抗率・厚さ測定およびPN判定をすべて非接触で行うベルト搬送式ウェハソーティングシステム。抵抗率には上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定する渦電流法を、厚さには静電容量法を採用しており、サンプルにダメージを与えずに測定可能。シリコンウェハ、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適。測定サイズ：3～8インチ、抵抗率：1m～200Ω・ｃm、シート抵抗：10m～3kΩ／sq、厚さ：約150～1200μm。カセットは要望に応じた数に対応。オプションで、ウェハフラットネス測定器「FLA-200」を追加搭載できる。
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