非接触(渦電流法)ウェハソーティングシステム NC-6800
最終更新日:2019/03/12
このページを印刷
温度計と温度補正機能付き
【NC-6800】は、抵抗率・厚さ測定およびPN判定をすべて非接触で行うベルト搬送式ウェハソーティングシステム。抵抗率には上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定する渦電流法を、厚さには静電容量法を採用しており、サンプルにダメージを与えずに測定可能。シリコンウェハ、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適。測定サイズ：3～8インチ、抵抗率：1m～200Ω・ｃm、シート抵抗：10m～3kΩ／sq、厚さ：約150～1200μm。カセットは要望に応じた数に対応。オプションで、ウェハフラットネス測定器「FLA-200」を追加搭載できる。
一緒に閲覧されている製品
非接触(渦電流法)ウェハソーティングシステム NC-6800のお問い合わせ
その他製品一覧
ウエハプローバ DWP-3000
半導体テストシステム TS-900
4探針法 全自動測定ソーター WS…
薄膜飽和磁歪測定装置
ESD試験器／ラッチアップ試験器…
LED検査分類テスタ OLC-7
8インチ ハイパワー用オートプ…
300mm フルオートオプション付…
シールド機構付き300mmオートプ…
デジタルIC計測システム EVA100…
μTAS測定用ソケットユニット RY…
配線品質解析システムオプション
チャージアップモニタウエハ
IGBT＆MOSFET用 動特性・静特性…
ギガ・コンタクトユニット
バイオ・チップインターフェー…
LED検査分類テスタ OLC-110V／2…
半導体カーブトレーサ CS-12800…
モニター・バーンイン装置 BI-1…
顕微式自動膜厚測定システム F54
