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半導体電気特性評価 テラヘルツ分光装置・テラヘルツエリプソメーター

西華デジタルイメージ株式会社

最終更新日:2019/07/25

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  • 半導体電気特性評価 テラヘルツ分光装置・テラヘルツエリプソメーター
電場強度と共に位相情報も同時計測が可能
本装置は、複素誘電率(複素屈折率)の周波数依存性を計測できるテラヘルツ分光装置・テラヘルツエリプソメーター。光と電磁波の強化周波数である帯域(THz)に対応。テラヘルツ波の入射による反射楕円偏光の解析で、半導体のさまざまな電気的特性を算出する。テラヘルツ波は透過性と物質の同定能力を備え、電波より短波長で微小観察に最適。また低エネルギーのため、分子間の結合状態の観察にも応用可能。
    　　　　　　　　
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