高荷重用ナノポジショニングステージ NPS-X-60D／NPS-X-100D
最終更新日:2026/06/19
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独自のフレクシャーガイド構造による高い動作精度と高速応答を両立
【NPS-X-60D／NPS-X-100D】は、極めて高い速度と精度両立が要求される用途において、最適なパフォーマンスを発揮するように設計されたクィーンズゲイト社のナノポジショニングステージ(NPS)。高荷重に適したダイレクトドライブ方式を採用するとともに、ユーザーの用途に応じて、X方向の動き、もしくはZ方向の動きにおいて、最高の性能を発揮するように調整されている。静電容量センサによるフィードバック機能を搭載。異なる荷重に応じて最適化することが可能。動作範囲：60ミクロン／100ミクロン、耐荷重10kg(ただし、6㎏を超える場合にはあらかじめ要相談)。主な用途は半導体検査装置における光学部品の精密位置決め、顕微鏡の対物レンズ取り付け部の位置調整、精密加工分野。
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