ポジショニングステージ 対物レンズ用ポジショニングステージ
最終更新日:2014/01/30
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変位センサ内蔵、フィードバック制御可能
【対物レンズ用ポジショニングステージ】は、圧電素子と変位拡大機構を組合わせた対物レンズのオートフォーカシング用ステージ。変位センサを内蔵し、サーボコントローラと接続してフィードバック制御が可能。高剛性で高い固有振動を持ち、取付けが容易。ストローク15μmタイプと100μmタイプを用意。
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