小型微動ステージナノサーボステージ

最終更新日:2014/01/30

圧電素子駆動の高精度タイプ

【ナノサーボステージ】は、圧電素子による駆動を採用した高精度タイプの小型微動ステージ。一体ヒンジ構造により、高剛性、高精度を実現、ストローク15μm／150Vで、使用温度範囲は10〜60℃。センサレス型、歪ゲージ式センサ内蔵型、静電容量式センサ内蔵型の3タイプを標準化。用途はナノメータポジショニングなど多彩。