開口付きステージ

【開口付きステージ】は、移動テーブル中央に開口部(透過穴)を有した製品。レーザーを透過させる光学デバイスの微調アライメントや顕微鏡、分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適している。小型デバイスに適したコンパクトな開口タイプ(27mm)から、大きなパネルをアライメントできる大開口タイプ(200mm)をラインアップ。XY軸やXYZ軸などの複合軸は一体機構で設計されており、通常の単軸重ね合わせ構造で発生しやすい非直行性を抑えている。また、高精度フィードバック制御により、スムーズで正確な走行や円駆動が可能、信頼性の高い動作が行える。