超高精度XYステージ
最終更新日:2016/08/04
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分解能10nmの超高精度な位置決めが可能
本製品は、超音波モータを用いた超精密位置決めステージ。分解能10nmの位置決め制御が可能。高精度位置決め装置はもとより、描画装置、加工装置のステージとしての利用に最適。
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