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バンプ高さ検査装置 TWi-8000

ニデックパワートレインシステムズ(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • バンプ高さ検査装置 TWi-8000
8インチウエハを13WPH／で測定
【TWi-8000】は、ウエハ上に形成されたAuストレートバンプまたは半田バンプの高さを高速・高精度に測定する検査装置。独自の光切断方式で高精度測定が行え、バンプ数にかかわらず高速で検査できる。金バンプ巾：8μm以上、半田バンプ径：Φ25μm以上、3D高さ測定分解能：0.1μm、3D高さ測定再現性：σ平均<0.1μm、測定時間：13WPH／8インチ標準ウエハ。
    　　　　　　　　

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