バンプ高さ検査装置 TWi-8000
最終更新日:2014/02/01
このページを印刷8インチウエハを13WPH/で測定
【TWi-8000】は、ウエハ上に形成されたAuストレートバンプまたは半田バンプの高さを高速・高精度に測定する検査装置。独自の光切断方式で高精度測定が行え、バンプ数にかかわらず高速で検査できる。金バンプ巾:8μm以上、半田バンプ径:Φ25μm以上、3D高さ測定分解能:0.1μm、3D高さ測定再現性:σ平均<0.1μm、測定時間:13WPH/8インチ標準ウエハ。
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