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スリム自動ステージ SW40シリーズ

ワイヤード(株)

最終更新日:2015/11/25

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  • スリム自動ステージ SW40シリーズ
小型ながら高精度な位置決めが可能
【SW40シリーズ】は、ボールねじとスケールの一体構造により、小型化と高精度な位置決めを可能にするム自動ステージ。XYなどのシステムに組み付けた場合、自重によるたわみがなく、ガラススケール内蔵自動ステージと連動して使える。また、従来からのリニアスケールにより、フィードバックでフルクローズドループ制御も行えるサブミクロンの位置決めを実現。

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