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エアベアリング平坦回転ステージ A-63x

ピーアイ・ジャパン(株)

最終更新日:2021/09/10

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  • エアベアリング平坦回転ステージ A-63x
優れた精度と薄型デザインを両立
【A-63x】は、優れた精度と薄型デザインを両立させた、ダイレクトドライブ式のエアベアリング平坦回転ステージ。さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのインデキシングや等速スキャンに最適なソリューションを実現する。モーションプラットフォーム直径:150/200/300/350mm、偏心率および平面度:<100nm。

製品カタログ・資料

エアベアリング平坦回転ステージ A-63x
エアベアリング平坦回転ステージ A-63x

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.72MB【A-63x】は、優れた精度と薄型デザインを両立させた、ダイレクトドライブ式のエアベアリング平坦回転ステージ。さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのインデキシングや等速スキャンに最適なソリューションを実現する。モーションプラットフォーム直径:150/200/300/350mm、偏心率および平面度:<100nm。

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社名:
ピーアイ・ジャパン(株)
住所:
〒 212-0013
川崎市幸区堀川町580番地 ソリッドスクエアビル西館 17F
Web:
http://www.pi-japan.jp/
TEL:
044-280-7676