エアベアリング平坦回転ステージ A-63x
最終更新日:2021/09/10
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優れた精度と薄型デザインを両立
【A-63x】は、優れた精度と薄型デザインを両立させた、ダイレクトドライブ式のエアベアリング平坦回転ステージ。さまざまなオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのインデキシングや等速スキャンに最適なソリューションを実現する。モーションプラットフォーム直径：150／200／300／350mm、偏心率および平面度：＜100nm。
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- エアベアリング平坦回転ステージ A-63x
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