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フォトリソ工程用ESD／ESA対策照明拡大鏡

(株)エイチエーエー光学

最終更新日:2022/06/10

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レジスト剤への影響が極めて少ない黄色LEDを採用

【ESKKproPLシリーズ】は、ESD／ESA対策に定評がある「ESKKproシリーズ」の照明拡大鏡をベースに、レジスト剤への影響が極めて少ない黄色LEDを採用した照明拡大鏡。g／ig／i線用の代表的なレジスト剤で露光実験を行い、得られた「露光しない積算光量」から、ワークへの照度が5000lxでの使用において、15時間連続で照射しても、ワークのレジスト剤は露光しないことが算出されている。

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