高荷重対物レンズスキャナー P-726 PIFOCナノフォーカスシステム

製品カタログ・資料

PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.86MB大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現。 P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。 【特徴】 ・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング/スキャニング ・共振周波数1120Hz(210g負荷時560Hz) ・標準セットリング時間約6ms ・ストローク100μm ・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ・分解能～0.3nm ・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ 【用途】 ・3D画像 ・スクリーニング ・オートフォーカスシステム ・顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・表面形状解析 ・ウェハー検査　など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。